概述

AVI-400M隔离和控制器

avio -400平台为电子显微镜和类似大型研究仪器提供行业领先的主动隔振性能(0.5 Hz起振)。avio -400平台通过消除干扰性低频振动噪声,帮助用户实现更高的显微镜性能。avio -400平台采用了低调的模块化设计,大多数仪器(包括大多数SEMs)的安装不需要起重设备,从而简化了安装过程。

avio -400有三种标准尺寸可供选择:AVI-400S,AVI-400MAVI-400XL。


应用程序

avio -400平台支持各种高负荷显微镜和其他对低频振动噪声敏感的研究仪器。aviv -400平台最常见的应用是电子显微镜,他们成功地支持了扫描电子显微镜和透射电子显微镜。世界各地的终端用户和原始设备制造商认为,与竞争对手的解决方案相比,avio -400平台的低调性质更有利,因为它简化了安装过程,消除了持久维护的需要。

除了SEMs和TEMs, avio -400平台通常支持:

  • 超高真空扫描探针显微镜(UHV-SPM)
  • 光刻工具
  • 高精度计量工具
  • 光谱仪器
  • 和更多!

性能

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传递率图表示了aviv -400系列在频域上的隔振性能。性能数据代表了所有旋转振动模式(所有6个自由度),并应作为客户将他们的仪器与aviv -400平台配对时所能获得的性能的保守估计。

性能升级 - LFS系统

avio -400系列通过与LFS系统(低频传感器)配对,可以改善其低频隔振性能。升级后的平台能够隔离0.5 Hz起的振动,可以很容易地针对现场现有系统进行改造。关于升级后的性能的更多细节可以在下面找到。


性能比较的图片

两名研究人员在两种情况下操作不同的SEMs对独特的样品进行了成像:没有隔振系统和有avio - 400m平台。结果图像显示,当使用AVI平台支持SEM时,图像质量和整体测量清晰度有显著改善。


技术规格


AVI-400系列下载


三维模型