概观

AVI-400M隔离和控制器

的AVI-400平台为电子显微镜和类似的大研究仪器业内领先的有源隔振性能(开始于0.5赫兹)。该AVI-400平台可以帮助用户通过影响其测量消除破坏性的低频振动噪声达到更从他们的显微镜。的AVI-400平台包括低轮廓和模块化设计,通过不要求起重设备的安装对于大多数仪器(包括大部分的SEM)简化了安装过程。

该AVI-400有三种标准尺寸可供选择:AVI-400SAVI-400MAVI-400XL。


应用

的AVI-400平台支持广泛的高负荷显微镜和其他研究工具,以低频率的振动噪声敏感的。对于AVI-400平台最常见的应用是电子显微镜,他们已经取得了巨大成功均支持扫描电子显微镜和透射电子显微镜。最终用户和OEM厂商在世界各地发现的AVI-400平台有利于对,因为它简化了安装过程,并消除了持续维护的需求竞争解决方案低轮廓性质。

除了SEM和TEM中,AVI-400平台通常支持:

  • 超高真空扫描探针显微镜(UHV-SPM)
  • 光刻工具
  • 高精度计量工具
  • 光谱仪器
  • 和更多!

性能

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传递率的曲线图表示在频域中的AVI-400系列的隔振性能。性能数据代表振动的所有旋转模式(所有六个自由度)的,应作为性能的客户的保守估计有AVI-400平台配对他们的仪器时,可以接收。

性能升级 - LFS系统

该AVI-400系列可以通过与LFS系统(低频传感器)配对,提高其低频隔振性能。这种升级可以使平台以隔离振动开始在0.5Hz和可以很容易地改装为在该领域的现有系统。在升级后的性能的更多细节可以在下面找到。


性能对比图片

两位研究人员操作不同的中小企业成像的独特样本两种情况下:没有隔振系统,并与AVI-400M平台。所得到的图像展示的图像质量,并且当AVI平台被用于支持一个SEM整体测量清晰度显著改善。


技术规格


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