概述

avio -600平台为精密研究行业最大的仪器(如TEMs)提供行业领先的主动隔振性能(0.5 Hz起振)。avio -600平台通过消除干扰性低频振动噪声影响测量数据质量,帮助用户实现更高的仪器性能。avio -600平台采用了低调的模块化设计,大多数仪器(包括大多数SEMs)的安装不需要起重设备,从而简化了安装过程。

avio -600有三种标准尺寸可供选择:avi - 600,avi - 600 m,avi - 600 xl。


应用程序

avio -600平台支持各种高负荷显微镜和其他对低频振动噪声敏感的研究仪器。aviv -600平台最常见的应用是电子显微镜,他们成功地支持了扫描电子显微镜和透射电子显微镜。世界各地的终端用户和原始设备制造商认为,相对于竞争对手的解决方案,avio -600平台的低调特性更有利,因为它简化了安装过程,消除了持续维护的需要。

除了SEMs和TEMs, avio -600平台通常支持:

  • 超高真空扫描探针显微镜
  • 光刻工具
  • 高精度计量工具
  • 光谱仪器
  • 和更多!

性能

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透射率图表示了avio -600系列在频域上的隔振性能。性能数据代表了所有旋转振动模式(所有6个自由度),并应作为客户将其仪器与aviv -600平台配对时所能获得的性能的保守估计。

性能升级- LFS系统

avio -600系列通过与LFS系统(低频传感器)配对,可以提高其低频隔振性能。升级后的平台能够隔离0.5 Hz起的振动,可以很容易地针对现场现有系统进行改造。关于升级后的性能的更多细节可以在下面找到。


性能比较的图片

两名研究人员使用不同的SEMs在两种情况下拍摄了独特的样本:没有隔振系统和有AVI平台。结果图像显示,当使用AVI平台支持SEM时,图像质量和整体测量清晰度有显著改善。


技术规格


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三维模型