概述

avie -600平台为精密研究行业最大的仪器(如TEMs)提供了行业领先的主动隔振性能(0.5 Hz起)。avie -600平台通过消除干扰性低频振动噪声对测量数据质量的影响,帮助用户从他们的仪器中获得更多成果。avie -600平台采用了低轮廓和模块化设计,通过不需要吊装设备来安装大多数仪器(包括大多数SEMs),简化了安装过程。

该AVI-600有三种标准尺寸可供选择:AVI-600S,AVI-600Mavi - 600 xl。


应用程序

avie -600平台支持广泛的高负载显微镜和对低频振动噪声敏感的其他研究仪器。avie -600平台最常见的应用是电子显微镜,它们成功地支持了扫描电子显微镜和透射电子显微镜。世界各地的终端用户和oem认为,相对于竞争对手的解决方案,avie -600平台的低调特性对其有利,因为它简化了安装过程,并消除了持久维护的需要。

除了SEMs和TEMs, avi600平台通常支持:

  • 超高真空扫描探针显微镜(uhf - spm)
  • 光刻工具
  • 高精度计量工具
  • 光谱仪器
  • 和更多!

性能

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传递率图表示了avie -600系列在频域上的隔振性能。性能数据代表了所有旋转振动模式(所有6个自由度),并应作为客户将其仪器与avie -600平台配对时所能获得的性能的保守估计。

性能升级 - LFS系统

avie -600系列可以通过与LFS系统(低频传感器)配对来提高低频隔振性能。这次升级使平台能够隔离0.5赫兹开始的振动,并且可以很容易地针对现场现有系统进行改造。关于升级后的性能的更多细节可以在下面找到。


性能比较的图片

两位研究人员操作不同的中小企业成像的独特样本两种情况下:没有隔振系统,并与AVI平台。所得到的图像展示的图像质量,并且当AVI平台被用于支持一个SEM整体测量清晰度显著改善。


技术规格


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三维模型