概述用于TS-140 - 3的Sigma Koki干涉仪

干涉追溯到十七世纪的基本原则。干涉使用电磁波的特性,以收集有关样品的信息。干涉仪已被用来测量来自外太空的身体辐射天文研究的一部分。在纳米技术研究的上下文中,光干涉仪使用光收集关于表面和小样本的属性的信息。光干涉仪产生两个光束,一个被反射离开一个参考表面,另一个被反射离开样品。两个光波之间的干涉进行测量,以产生在样品的表面特性的信息。

白光干涉仪和激光干涉仪使用户能够非常精确地收集关于材料表面特性的详细信息。干涉仪可以指示表面的平整度、粗糙度和曲率。干涉测量法在光学(非接触式)轮廓仪中用于测定薄膜厚度和表面均匀性。光学分析器是无价的质量保证和故障分析工具。干涉仪由于其易于使用、通用性和相对低的成本而很受欢迎。


锚典型应用


锚环境挑战

干涉仪的机械性能要求的光或激光源,反射镜,阶段和检测器保持所有的空间均匀性,以确保结果的准确性和可重复性。固有振动建筑物有时可足以挫折精确的测量。干涉仪通常在恶劣的环境中,诸如半导体晶圆厂或生产设施中使用。在这些情况下,高性能隔振系统是必须的。

干涉仪对周围的震动源也很敏感,例如街道交通、脚步声和人们的谈话。仅仅由于人们在实验室内走动,就可以看到条纹移动和数据变化的情况并不少见。在有街道和行人的地区,建议采用辅助隔振系统,以确保测量的可重复性和维持吞吐量。

干涉仪对低频振动非常敏感。因此,当一个在建筑物的上层使用它是明智的主动振动控制