概观

应用程序在他们的需要隔离振动方面各不相同,与三个主要考虑的事情:1)低频振动噪声,2)考虑的主动与被动的系统时,成本效益分析,以及3)对周围环境的相对灵敏度这个仪器。

以下是优势,主动和被动隔离的缺点地检查了一下。鉴于技术和主动振动控制系统之间的性能的变化,我们会限制我们的主动系统的讨论118bet网娱乐 金博宝app产品。

锚被动VS.ACTIVE - 对照表

特征

被动 活性
隔离范围 > 5HZ > .7Hz
低频共振 2 - 5赫兹 没有
扩增共振 4-9倍 N / A
负载敏感 没有
高重心
效率下降
没有
刚性 柔软的 500X较硬较被动
隔离在所有六个
自由程度
没有
气源要求 手动泵或气源 没有
交流电 没有 110-240 VAC
建立时间 2 - 10秒 10-20毫秒
自动调整负载均衡

-M - 无

-A - 是的

AVI - 无

TS - 是的

隔绝噪音 地面传播的振动 地面传播的振动,一些仪器和噪声
价钱 低到中度

中高


锚低频共振共振与非共振

被动隔离系统,因为它们是简单的机械结构,具有天然的共鸣。使得它们可以开始在较低的频率分离,被动系统被设计成其自然共振尽可能低的频率尽可能转向。通过这种方式,系统可以开始在较低的频率中分离,并因此提供超过阻尼频率的更宽的带宽。但共振仍然存在于低频,一般一到三个赫兹。所以,如果有低频噪声,诸如在高层建筑横向摇摆的源,那么隔离系统将扩增噪声而非潮湿它。这可能是特别麻烦的那些对低频振动灵敏的仪器,如原子力显微镜要么中小企业

谐振系统

表稳定活性隔离系统,在另一方面,有一个内部反馈环路,它消除了系统低频共振。这使他们能够在开始子赫兹频率隔离。反馈回路也执行在更高的频率“管家”在所有频率确保可预见的高隔离级别。缺乏共振的是一个明确的好处那些谁拥有原子力显微镜或中小型企业或谁在他们的环境中低频噪声。


锚性能比较

由于被动隔离系统的低频共振,它们不提供在较低的频率衰减。然而,一旦他们开始阻尼(通常在四到五个赫兹范围)的性能迅速回升,并可以开始几赫兹内提供显著的衰减。例如,基于空气的玛瑙系列在四个赫兹开始分离和6.5赫兹提供百分之九十的衰减。进一步沿着光谱中,可以有一个被动的系统,降低阻尼水平其它机械共振。这些通常只在少数情况下显著;基于空气的被动隔离系统提供在较高频率的大致高的性能水平。

如上面所提到的,表的稳定活性隔离系统有一个反馈环路中删除相关的共振,因此,它们具有平滑滚降到更高的频率。一旦主动系统以10Hz实现其最佳性能,减少的这种高电平被维持到更高的频率。排除偶尔谐振,被动系统和主动系统两者的问题提供98 - 99%的衰减移动过去的30赫兹。


锚敏感性器具尺寸

被动隔离系统的性能依赖于体积,重量,和装载在顶部的仪器的重心。装载在被动系统顶部的仪器改变系统的机械结构。由于被动系统依赖于他们对隔离性能的机械结构,增加设备将这个系统,并改变了隔离系统的性能的共振。无源系统通常达到峰值性能具有大约80的负荷 - 该系统的负载能力的90%。从理想体重的任何偏离会降低性能。

此外,的安装平台需求的大小成正比重力仪的中心位置。即,重心不能在相对于支撑结构的宽度太高。对于一个给定的系统的传递曲线图通常是从在峰值性能条件下拍摄数据中导出。所以,除非仪器符合理想的大小,重量,并为特定的系统负载分配,你可以期望得到比宣称的性能更低。

关于机械变化表的稳定活性隔离系统补偿的反馈环路。所以,只要仪器是系统的负载能力和覆盖范围内,系统将提供高水平的性能是从有源系统的预期。


锚AFM性能比较

TS-150的Veeco多模式性能的比较


锚多轴隔离

被动隔离系统通常被设计为仅分离Z轴振动。因此,他们无法处理水平振动。在上例中,它们也可以隔离水平振动,不同的隔离机构通常采用。例如,气动工作台可以使用一个空气弹簧来分离Z轴的振动和使用橡胶阻尼水平振动。当不同的隔离机制被采用,该系统无法充分补偿振动的非纯粹X,Y,或Z当在被动系统的寻找传递图,应当注意正在测量该轴线。不良振动很少沿一个轴纯粹,所以这是被动隔离系统的一个重要缺点。

表稳定活性隔离系统使用相同的感测和阻尼机构以分离六个自由度(X,Y,Z,滚动,俯仰和偏转),并且传感器与彼此通信。这使得它能够跨所有轴提供隔离的同高水平。


锚刚性

稳定时间 -  TS与被动
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在设计被动隔离系统,工程师希望推动该系统的低频共振尽可能低。实现这一目标的最常用的方法是使系统非常柔软。软系统需要较长的时间来解决一个重大的干扰来通过该系统后,通常以秒计,但有时系统再次分离才可以采取分钟。这可以减缓进行测量的过程中,需要很长的扫描重新开始。软系统也由负载的变化,用户暴沸,或气流比更硬的系统的干扰更敏感。

因为表稳定的系统有其低频共振衰减掉,他们能够采用非常坚硬的弹簧。这些弹簧比标准空气为基础的系统更硬大致500倍。这意味着该系统是不太可能被悬空,当他们有一个非常短的稳定时间,在毫秒数量级上。而不是需要等待几秒钟或几分钟重新开始测量,该表稳定系统的稳定时间几乎难以察觉。


锚价钱

主要优点是被动系统比主动系统是它们更便宜。橡胶垫和坐骑可以提供隔离,其足以对只有几元钱不太敏感的应用程序的总水平。蹦极系统,以适当的调整和几何形状,可以为下一个百元提供隔离的一个非常高的水平。基于空气隔离系统可以提供隔离是足够了几千元了广泛的研究手段。主动隔离系统的成本通常超过五千元。对于一些应用,如文书只花千元自己,主动隔离,根本就不是一个低成本的解决方案。


仪器级隔离

表稳定活性隔离感官和DAMPS振动在仪器的水平。这允许系统以抑制一些出现在仪器中的噪声,其中包括噪音耦合到外壳,空气运动,从布线寄生噪声,甚至由仪器本身的噪声产生的一些。被动隔离系统仅潮湿的地面上传播的振动。


锚网站和维护要求

无源系统通常需要在安装位置干净的空气供应或空气压缩机。如果是手动充气的系统中,它会使用手泵需要定期再充气。经过几年的使用,基于空气的隔离系统通常需要更换了空气隔膜。

表稳定的主动振动控制系统的设计,以连续多年没有维护运行。这些系统不需要空气;他们唯一的要求是110 - 240伏交流电源。如果系统在密闭空间使用和散热是一个问题,则应该使用通风。