SEM + AVI系列
Zewail集团使用量子FEG 650与定制光学装置接口，实现超快电子显微镜成像。将激光送入SEM腔体需要在几微米内的位置稳定性，因此SEM内部空气隔离未使用。
振动水平当空气隔离被禁用时，会显著降低成像能力。需要一种能保持高度位置稳定性的高性能隔振系统。
“我们对AVI的表现非常乐观。该防振系统大大降低了图像中的振动，同时保持了激光与发射极尖端相互作用的垂直稳定性。——杨致远(加州理工学院
应用程序的细节
- 仪器:飞量子电子显微镜650 FEG集成定制光学系统
- 最终用户:Zewail集团,加州理工学院
- 主动振动控制平台:aviv -400主动振动控制系统
建议
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avi - 400平台 - 被动和主动隔离机制的混合
- 动态地感知传入的振动并积极地消除它们
- 无低频共振
- 在所有六个自由度中，在宽广的频谱中具有优良的衰减性能
- 高刚度和刚性(比被动解决方案刚性高500倍)
- FEI测试并批准了溶液
安装
- 很容易改造
- 不需要特殊的工具或培训
- 安装大约需要一个小时
- 不增加系统的占地面积或高度
- 安装时几乎看不见(见上图)
定量结果
振动测量
定性结果
含主动振动控制和不含主动振动控制的碳纳米管的SEM图像
没有隔振
主动隔振
其他好处
- 高位置稳定性使超快电子显微镜成为可能
- 足迹没有增加
- 工作高度没有变化
- 快速简便的安装
- 不需要维护
