SEM + AVI系列

加州理工学院案例研究-快乐的顾客

Zewail集团使用量子FEG 650与定制光学装置接口,实现超快电子显微镜成像。将激光送入SEM腔体需要在几微米内的位置稳定性,因此SEM内部空气隔离未使用。

振动水平当空气隔离被禁用时,会显著降低成像能力。需要一种能保持高度位置稳定性的高性能隔振系统。

“我们对AVI的表现非常乐观。该防振系统大大降低了图像中的振动,同时保持了激光与发射极尖端相互作用的垂直稳定性。——杨致远(加州理工学院


应用程序的细节


建议

  • avi - 400平台
    avi - 400平台

    avio - 400m:工作台稳定主动隔振技术

  • 被动和主动隔离机制的混合
  • 动态地感知传入的振动并积极地消除它们
  • 无低频共振
  • 在所有六个自由度中,在宽广的频谱中具有优良的衰减性能
  • 高刚度和刚性(比被动解决方案刚性高500倍)
  • FEI测试并批准了溶液

安装

  • 很容易改造
  • 不需要特殊的工具或培训
  • 安装大约需要一个小时
  • 不增加系统的占地面积或高度
  • 安装时几乎看不见(见上图)

定量结果

振动测量

加州理工学院案例研究结果-没有隔离
无隔振- 3,523微克
加州理工学院案例研究结果-被动隔离
被动隔振- 879微克
加州理工学院案例研究结果-主动隔离
具有主动隔振(avio -400) - 308微克

定性结果

含主动振动控制和不含主动振动控制的碳纳米管的SEM图像


其他好处

  • 高位置稳定性使超快电子显微镜成为可能
  • 足迹没有增加
  • 工作高度没有变化
  • 快速简便的安装
  • 不需要维护