MEMS + TS系列

特纳小组正在使用干涉测量法来测量AFM探针的偏转。该仪器被用于MEMS应用中研究纳米级材料的附着力和表面特性。尽管被放置在一个基于空气的隔离表上,仪器的测量受到环境震动的影响噪声源包括层流罩、附近的建筑以及实验室位于大楼二楼的位置。一个有TS-150主动隔振台TS-150有效地消除了恼人的振动,使研究人员得以继续进行纳米尺度的测量。


应用程序

  • 微机电系统(MEMS)

仪器

  • 用干涉仪测量的定制AFM探针系统

最终用户

隔离系统:


结果-比较视频

下面的视频描述了悬浮在空气中的AFM探针。条纹的运动表示到达探测器的环境噪声。在没有隔离、空气隔离和主动振动控制的情况下,对探头的运动进行视频拍摄,以供比较。


确认

约翰阮,以前的特纳集团目前,桑迪亚国家实验室;教授凯文·特纳,机械工程学系,威斯康星大学麦迪逊分校