MEMS + TS系列

特纳集团使用干涉测量上的AFM探针的偏转。该仪器被用于研究MEMS应用纳米级材料的粘附性和表面特性。尽管被放置在基于空气的隔离表,仪器的测量正在受环境振动。噪声源包括层流罩,附近的建筑,并在用的building.An评价二楼实验室的位置118bet金博宝 被安排在了实验室。在TS-150有效地消除不良振动,并已使研究人员能够继续他们的纳米级测量。


应用

  • 微机电系统(MEMS)

仪器

  • 用干涉仪定制的原子力显微镜探针系统

最终用户

隔离系统:


结果 - 比较影片

下面描述视频悬浮在空气中的原子力显微镜探针。条纹的运动代表环境噪声到达探头。当与没有隔离,空气隔离,并为比较主动振动控制安装画取探针的运动。


致谢

约翰·阮,以前的特纳集团,目前与桑迪亚国家实验室;凯文·特纳教授机械工程系美国威斯康星大学麦迪逊分校